一、環(huan)保要求日趨嚴格，環(huan)保行業存量(liang)市場基數較(jiao)大(da)

1、環境監管趨嚴

（1）全(quan)國(guo)污染源(yuan)普(pu)查

第一次(ci)全(quan)國污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)普(pu)查(cha)的(de)(de)(de)(de)標(biao)準時(shi)點為(wei)2007年(nian)12月31日(ri)(ri)，時(shi)期為(wei)2007年(nian)度(du)(du)。普(pu)查(cha)對(dui)象(xiang)是(shi)我國境內(nei)排放污(wu)染(ran)(ran)(ran)物的(de)(de)(de)(de)工業(ye)污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)、農業(ye)污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)、生活污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)和(he)(he)集(ji)中式(shi)污(wu)染(ran)(ran)(ran)治理(li)設施。普(pu)查(cha)內(nei)容包括(kuo)各類污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)的(de)(de)(de)(de)基本情況(kuang)、主(zhu)要污(wu)染(ran)(ran)(ran)物的(de)(de)(de)(de)產生和(he)(he)排放數(shu)量、污(wu)染(ran)(ran)(ran)治理(li)情況(kuang)等。2016年(nian)10月26日(ri)(ri)，國務(wu)院印發(fa)《國務(wu)院關于(yu)開(kai)展第二次(ci)全(quan)國污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)普(pu)查(cha)的(de)(de)(de)(de)通知》（國發(fa)〔2016〕59號），決定開(kai)展第二次(ci)全(quan)國范(fan)圍(wei)內(nei)的(de)(de)(de)(de)污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)普(pu)查(cha)。普(pu)查(cha)標(biao)準時(shi)點為(wei)2017年(nian)12月31日(ri)(ri)，時(shi)期為(wei)2017年(nian)度(du)(du)，普(pu)查(cha)對(dui)象(xiang)是(shi)中國境內(nei)有污(wu)染(ran)(ran)(ran)源(yuan)的(de)(de)(de)(de)單位和(he)(he)個體經營(ying)戶，加大了工業(ye)環保普(pu)查(cha)的(de)(de)(de)(de)滲(shen)透深(shen)度(du)(du)和(he)(he)廣度(du)(du)。

（2）中央(yang)環保督察(cha)

2016年1月4日，中(zhong)央(yang)環(huan)(huan)保(bao)督(du)(du)察(cha)組(zu)(zu)正式(shi)亮相。中(zhong)央(yang)環(huan)(huan)保(bao)督(du)(du)察(cha)組(zu)(zu)由(you)環(huan)(huan)境(jing)保(bao)護部牽(qian)頭成立，中(zhong)紀(ji)委、中(zhong)組(zu)(zu)部的(de)(de)相關(guan)領導參加，是代表黨中(zhong)央(yang)、國務院對各省（自治區、直轄(xia)市(shi)）黨委和(he)政府及(ji)其有關(guan)部門開展的(de)(de)環(huan)(huan)境(jing)保(bao)護督(du)(du)察(cha)。2016、2017年，中(zhong)央(yang)環(huan)(huan)保(bao)督(du)(du)察(cha)組(zu)(zu)用不到兩年時間，對全國31個省（區、市(shi)）存在的(de)(de)環(huan)(huan)境(jing)問題進行了一次全覆蓋式(shi)的(de)(de)督(du)(du)察(cha)。

2018年(nian)5月25日，生態(tai)環(huan)境部全面啟動第(di)一批中(zhong)央(yang)(yang)環(huan)保督察(cha)“回頭(tou)看”，重(zhong)點督察(cha)各(ge)地經黨中(zhong)央(yang)(yang)、國務院審核的中(zhong)央(yang)(yang)環(huan)境保護督察(cha)整改方(fang)案(an)總體落實情況(kuang)，進(jin)一步(bu)強化震懾，壓實責任，倒逼(bi)落實，為打(da)好污染防治攻(gong)堅(jian)戰提供(gong)強大(da)助(zhu)力(li)。隨著環(huan)保督查回頭(tou)看工(gong)作的不斷推進(jin)，環(huan)境監管逐步(bu)進(jin)入常態(tai)化。2019年(nian)7月，第(di)二輪(lun)第(di)一批中(zhong)央(yang)(yang)生態(tai)環(huan)境保護督察(cha)全部實現督察(cha)進(jin)駐。

（3）排污許可(ke)制度

排污(wu)(wu)許(xu)可(ke)制(zhi)度(du)改革(ge)是我國環境管理(li)制(zhi)度(du)的(de)重大變革(ge)。當前(qian)固定污(wu)(wu)染源(yuan)仍然(ran)是我國污(wu)(wu)染物(wu)排放的(de)主要來源(yuan)，實施統(tong)一公平、覆蓋全面的(de)排污(wu)(wu)許(xu)可(ke)制(zhi)度(du)，是落實《生態文明體(ti)制(zhi)改革(ge)總(zong)體(ti)方案》的(de)重要改革(ge)舉措。

自2016年(nian)(nian)開(kai)始試點，到2017年(nian)(nian)全面(mian)推行(xing)，再到2018年(nian)(nian)邁出實(shi)質性步伐(fa)，我(wo)國(guo)逐(zhu)步形成(cheng)了(le)“以總量控(kong)制為目(mu)標、多種污(wu)(wu)染物(wu)綜合管(guan)理”的現行(xing)排污(wu)(wu)許(xu)(xu)可(ke)(ke)制度(du)(du)。2016年(nian)(nian)11月，國(guo)務院辦公(gong)廳印發《控(kong)制污(wu)(wu)染物(wu)排放許(xu)(xu)可(ke)(ke)制實(shi)施方案》，明確要將排污(wu)(wu)許(xu)(xu)可(ke)(ke)建設成(cheng)為固定(ding)污(wu)(wu)染源環境管(guan)理的核心制度(du)(du)。

2018年1月，《排污(wu)許(xu)可(ke)管理辦法（試行）》正式出臺，作為我國排污(wu)許(xu)可(ke)制度(du)的第一個部門規章，規定了(le)排污(wu)許(xu)可(ke)證核發(fa)程序(xu)等(deng)內容，細(xi)化(hua)了(le)環(huan)境(jing)保護部門、排污(wu)單位和第三方(fang)機構的法律責任。

2019年(nian)6月，生態環境部印(yin)發(fa)《重點行業(ye)(ye)            揮發(fa)性有(you)機物    綜(zong)合治(zhi)理(li)方案》（環大氣[2019]53號），全面(mian)實(shi)施排(pai)污(wu)許可(ke)。對已核發(fa)的涉VOCs行業(ye)(ye)，強化(hua)排(pai)污(wu)許可(ke)執法監管，確(que)保(bao)排(pai)污(wu)單位落實(shi)持證排(pai)污(wu)、按(an)證排(pai)污(wu)的環境管理(li)主體責任。定期公布(bu)未按(an)證排(pai)污(wu)單位名(ming)單。

（4）環境保護稅

2018年(nian)1月1日起施行(xing)(xing)的(de)《環(huan)(huan)境保(bao)(bao)護稅(shui)(shui)法(fa)》，是落實稅(shui)(shui)收法(fa)定(ding)原則后的(de)第一(yi)(yi)部(bu)(bu)稅(shui)(shui)法(fa)，將(jiang)取(qu)代排污(wu)(wu)(wu)(wu)費(fei)實現“費(fei)改(gai)稅(shui)(shui)”。《環(huan)(huan)境保(bao)(bao)護稅(shui)(shui)法(fa)》明確，            大(da)(da)氣污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)    、水(shui)(shui)污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)、固體廢(fei)物(wu)和噪聲被(bei)列為(wei)應(ying)(ying)稅(shui)(shui)污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)。其中(zhong)，應(ying)(ying)稅(shui)(shui)大(da)(da)氣污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)包(bao)括(kuo)二氧(yang)化硫、氮氧(yang)化物(wu)、一(yi)(yi)氧(yang)化碳、氯氣等。2018年(nian)3月，財(cai)政部(bu)(bu)、國(guo)家稅(shui)(shui)務(wu)總局、生態環(huan)(huan)境部(bu)(bu)聯合發出通知，對環(huan)(huan)境保(bao)(bao)護稅(shui)(shui)征收過(guo)程中(zhong)的(de)有關問(wen)(wen)題(ti)進(jin)行(xing)(xing)了明確，包(bao)括(kuo)應(ying)(ying)稅(shui)(shui)大(da)(da)氣污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)和水(shui)(shui)污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)排放(fang)量(liang)(liang)的(de)監測計算(suan)問(wen)(wen)題(ti)、應(ying)(ying)稅(shui)(shui)水(shui)(shui)污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)物(wu)污(wu)(wu)(wu)(wu)染(ran)(ran)(ran)(ran)當(dang)量(liang)(liang)數的(de)計算(suan)問(wen)(wen)題(ti)、應(ying)(ying)稅(shui)(shui)固體廢(fei)物(wu)排放(fang)量(liang)(liang)計算(suan)和納稅(shui)(shui)申報問(wen)(wen)題(ti)、以及應(ying)(ying)稅(shui)(shui)噪聲應(ying)(ying)納稅(shui)(shui)額的(de)計算(suan)問(wen)(wen)題(ti)等。綜上，國(guo)家層(ceng)面對于環(huan)(huan)境保(bao)(bao)護的(de)高(gao)度重視(shi)，使得環(huan)(huan)保(bao)(bao)行(xing)(xing)業(ye)(ye)景氣度有望保(bao)(bao)持并(bing)持續(xu)提升，為(wei)環(huan)(huan)境保(bao)(bao)護專用設備制(zhi)造業(ye)(ye)帶來巨(ju)大(da)(da)的(de)市場(chang)空間。

2、排放標準趨(qu)嚴

（1）泛半(ban)導體行業

泛半(ban)導體行業大氣(qi)污染物排(pai)放(fang)(fang)尚無具有行業針對性的國(guo)家標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)，目前(qian)執行的是90年(nian)代頒(ban)布的《大氣(qi)污染物綜(zong)合(he)排(pai)放(fang)(fang)標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)》（GB16297-1996）和《惡(e)臭(chou)污染物排(pai)放(fang)(fang)標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)》（GB14554-1993）等現(xian)行國(guo)家綜(zong)合(he)性排(pai)放(fang)(fang)標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)。由于上述規(gui)(gui)定頒(ban)布時(shi)間(jian)較早，已經難以(yi)適應當前(qian)和今后我國(guo)生(sheng)態(tai)環(huan)(huan)境(jing)保護工作的要求，2018年(nian)12月，生(sheng)態(tai)環(huan)(huan)境(jing)部(bu)發布《惡(e)臭(chou)污染物排(pai)放(fang)(fang)標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)（征求意見稿(gao)）》及編制(zhi)說(shuo)明，同時(shi)，部(bu)分(fen)省市(shi)(shi)制(zhi)定了一系列地(di)(di)方標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)予以(yi)規(gui)(gui)范(fan)，例如上海市(shi)(shi)地(di)(di)方標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)《大氣(qi)污染物綜(zong)合(he)排(pai)放(fang)(fang)標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)》（DB31-933-2015）和北京(jing)市(shi)(shi)地(di)(di)方標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)《大氣(qi)污染物綜(zong)合(he)排(pai)放(fang)(fang)標(biao)(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)》（DB11/1631-2019）。

針對泛(fan)半導(dao)體行業(ye)(ye)，行業(ye)(ye)標(biao)準(zhun)陸續出(chu)臺。2006年11月，上海(hai)市環境保(bao)護局(ju)(ju)聯(lian)合上海(hai)市質(zhi)量技術監督局(ju)(ju)發(fa)布(bu)《半導(dao)體行業(ye)(ye)污染(ran)(ran)物排放(fang)標(biao)準(zhun)》（DB31/374-2006）。2018年3月，環境保(bao)護部(bu)聯(lian)合國家質(zhi)量監督檢驗檢疫總局(ju)(ju)發(fa)布(bu)《電(dian)子(zi)工業(ye)(ye)污染(ran)(ran)物排放(fang)標(biao)準(zhun)（二(er)次(ci)征(zheng)求意見(jian)稿）》。

2019年6月13日(ri)，北京市制定并發布(bu)《電子工業大氣污染物排放標準(zhun)》（DB11/1631-2019）。

電子工業生產過程(cheng)中，設備(bei)或(huo)車(che)間排氣筒排放大氣污染物濃度限值如下(xia)表所(suo)示(shi)：

圖表1：電子工業大氣(qi)污(wu)染物排放濃(nong)度限值（單位：mg/m3）

數據來源：《電子工業大氣污染(ran)物排放(fang)標(biao)準(zhun)》（DB11/1631-2019）、韋(wei)伯咨詢

VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置除滿足(zu)上表規定的限值外，還需對排(pai)放(fang)煙氣中的氮氧化物、二噁英類進行控制，限值如下表所示：

圖表2：VOCs燃燒（焚燒、氧化(hua)）裝置氮氧化(hua)物和二噁英類排放限值（單位(wei)：mg/m3）

數據來源：《電子工業大氣污染物(wu)排放(fang)標準》（DB11/1631-2019）、韋伯咨(zi)詢

（2） ;           垃圾(ji)焚燒發電(dian)    行業

《生(sheng)活垃圾(ji)焚(fen)燒(shao)(shao)污染控制(zhi)標準》首次(ci)發布(bu)于2000年，2001年第(di)一(yi)次(ci)修(xiu)訂(ding)，2014年第(di)二次(ci)修(xiu)訂(ding)。《生(sheng)活垃圾(ji)焚(fen)燒(shao)(shao)污染控制(zhi)標準》（GB18485-2014）規定了生(sheng)活垃圾(ji)焚(fen)燒(shao)(shao)廠的選址要求(qiu)、技術要求(qiu)、入爐廢物要求(qiu)、運行(xing)要求(qiu)、排放(fang)控制(zhi)要求(qiu)、監(jian)測要求(qiu)、實(shi)施與監(jian)督等(deng)內容。

圖表3：生活(huo)垃圾焚燒爐(lu)排(pai)放煙氣中的污染物限值(zhi)（單(dan)位：mg/m3）

數據來源(yuan)：《生活(huo)垃圾焚燒污(wu)染(ran)控制標準(zhun)》（GB18485-2014）、韋伯咨詢整(zheng)理

2017年8月，環(huan)境保護部(bu)辦公廳印發(fa)《關于征求<生活垃圾(ji)焚燒(shao)污染控制標(biao)準>（GB18485-2014）修改單（征求意(yi)見稿）意(yi)見的(de)函》，擬對《生活垃圾(ji)焚燒(shao)污染控制標(biao)準》（GB18485-2014）進(jin)(jin)行進(jin)(jin)一步修訂。

二、下游產能快(kuai)(kuai)速(su)擴(kuo)張(zhang)，環保行業增量市場快(kuai)(kuai)速(su)增長

下游(you)行業(ye)(ye)(ye)的產(chan)能擴張與技術進化迭代(dai)帶(dai)動本(ben)行業(ye)(ye)(ye)市場快速增長(chang)。現選取報告(gao)期內公司業(ye)(ye)(ye)務涉及(ji)(ji)(ji)的主要下游(you)行業(ye)(ye)(ye)，以其投資規模(mo)及(ji)(ji)(ji)其變(bian)動趨(qu)勢(shi)來說(shuo)明環境保(bao)護專(zhuan)用設備制造業(ye)(ye)(ye)整體市場需求及(ji)(ji)(ji)變(bian)動趨(qu)勢(shi)。

1、泛半導體行業

（1）光電顯示

2016年(nian)11月(yue)，《“十(shi)三五(wu)”國(guo)家戰(zhan)略(lve)性(xing)新興產業(ye)發(fa)展規劃(hua)》（國(guo)發(fa)〔2016〕67號(hao)）指出，要“做(zuo)強(qiang)信息技術核(he)心產業(ye)，提升核(he)心基(ji)礎硬(ying)件(jian)(jian)供(gong)給能力(li)”，“實現主動矩陣有(you)機發(fa)光二極管（AMOLED）、超(chao)高清（4K/8K）量子點(dian)液(ye)晶顯示(shi)(shi)、柔性(xing)顯示(shi)(shi)等技術國(guo)產化突(tu)破及規模應用”。2017年(nian)2月(yue)，光電顯示(shi)(shi)器件(jian)(jian)（新型顯示(shi)(shi)器件(jian)(jian)）被納入《戰(zhan)略(lve)性(xing)新興產業(ye)重點(dian)產品和服務(wu)指導目錄》（2016版）。國(guo)家政策的(de)大力(li)支持將加(jia)速光電顯示(shi)(shi)行業(ye)產能擴張(zhang)。

自2010年起，光電顯(xian)(xian)示(shi)行業(ye)產能逐步由日本、韓(han)國(guo)、中(zhong)國(guo)臺(tai)灣向中(zhong)國(guo)內(nei)地轉(zhuan)移。LCD顯(xian)(xian)示(shi)器(qi)方面(mian)(mian)，隨(sui)著(zhu)以韓(han)國(guo)為首(shou)的海外企(qi)(qi)業(ye)在LCD高(gao)世代線投(tou)資的放緩，未來全(quan)球新(xin)增高(gao)世代線建設將以中(zhong)國(guo)內(nei)地企(qi)(qi)業(ye)為主(zhu)導(dao)。OLED顯(xian)(xian)示(shi)器(qi)方面(mian)(mian)，中(zhong)國(guo)內(nei)地企(qi)(qi)業(ye)在OLED產線的投(tou)資規(gui)模(mo)及布局僅次于韓(han)國(guo)，2017年起，國(guo)內(nei)面(mian)(mian)板廠商開始大量(liang)投(tou)資OLED顯(xian)(xian)示(shi)器(qi)產線。

按(an)照截至2018年(nian)12月的(de)(de)產(chan)能規劃，國內(nei)主要面板廠商2018年(nian)至2020年(nian)OLED面板產(chan)線(xian)的(de)(de)投資規模將分別達到745億元(yuan)(yuan)(yuan)、1,115億元(yuan)(yuan)(yuan)和(he)1,033億元(yuan)(yuan)(yuan)，包括(kuo)LCD在內(nei)的(de)(de)面板產(chan)線(xian)投資規模分別將達到1,975億元(yuan)(yuan)(yuan)、2,365億元(yuan)(yuan)(yuan)和(he)1,679億元(yuan)(yuan)(yuan)2。光(guang)電(dian)顯示行(xing)業在國家政(zheng)策和(he)產(chan)業轉(zhuan)移的(de)(de)驅(qu)動下，持續保持高(gao)額投入。

光電顯示(shi)行業環保(bao)投(tou)資(zi)一般占總投(tou)資(zi)（包(bao)括生產設備購置費和工程建設費）的2.5%-3%，其中(zhong)廢(fei)氣處理投(tou)資(zi)占比(bi)高，超(chao)過1/3。

（2）集成電路

2014年6月(yue)，《國(guo)家(jia)集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)發展(zhan)推進(jin)綱要》指(zhi)出，集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)是信息(xi)技術產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)的核心，是支(zhi)撐經濟社會發展(zhan)和(he)保障國(guo)家(jia)安全的戰(zhan)略性(xing)、基(ji)礎性(xing)和(he)先導(dao)性(xing)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)，當(dang)前(qian)和(he)今后一段時期是我(wo)國(guo)集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)發展(zhan)的重(zhong)要戰(zhan)略機遇期和(he)攻堅期。2014年9月(yue)，國(guo)家(jia)集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)投資(zi)基(ji)金(jin)(jin)成(cheng)立，重(zhong)點投資(zi)集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)芯片制造業(ye)(ye)(ye)，兼(jian)顧芯片設(she)計(ji)、封裝測試、設(she)備和(he)材(cai)料等(deng)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)，為行業(ye)(ye)(ye)的發展(zhan)提供了急需的資(zi)金(jin)(jin)支(zhi)持。2017年2月(yue)，集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)被納(na)入《戰(zhan)略性(xing)新興產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)重(zhong)點產(chan)(chan)品和(he)服務指(zhi)導(dao)目錄》（2016版）。國(guo)家(jia)的強力支(zhi)持與廣(guang)闊的市場(chang)空間將有效催(cui)化中國(guo)大陸集(ji)(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)的建設(she)進(jin)程。

近年來(lai)全(quan)(quan)球各大集成(cheng)電路企業(ye)，如(ru)英特(te)爾(er)、三星(xing)、格羅方德(de)、IBM、日(ri)月(yue)光(guang)、意(yi)法、飛思卡(ka)爾(er)等(deng)(deng)已(yi)陸續在中(zhong)國(guo)(guo)大陸建設工廠或(huo)代工廠，向中(zhong)國(guo)(guo)轉(zhuan)移產(chan)能。中(zhong)芯(xin)國(guo)(guo)際(ji)、武(wu)漢新(xin)芯(xin)、長江(jiang)存儲(chu)、紫光(guang)存儲(chu)、臺積電、晉(jin)華集成(cheng)、華虹半導(dao)體(ti)等(deng)(deng)都已(yi)在內地多個城市布局12寸晶(jing)圓(yuan)廠。內資(zi)、外資(zi)兩大陣營紛紛加碼中(zhong)國(guo)(guo)大陸，建廠投(tou)資(zi)。據(ju)國(guo)(guo)際(ji)半導(dao)體(ti)設備與材料產(chan)業(ye)協會（SEMI）報告預(yu)計，2017-2020年間(jian)全(quan)(quan)球投(tou)產(chan)的半導(dao)體(ti)晶(jing)圓(yuan)廠為62座(zuo)(zuo)，其中(zhong)26座(zuo)(zuo)設于中(zhong)國(guo)(guo)，合計占全(quan)(quan)球總數約42%。

2018-2020年，中(zhong)國大陸12寸(cun)、8寸(cun)晶(jing)圓(yuan)廠建設投(tou)資(zi)(zi)(zi)將達(da)7,087億元（其(qi)中(zhong)內(nei)資(zi)(zi)(zi)晶(jing)圓(yuan)廠投(tou)資(zi)(zi)(zi)達(da)5,303億元，占比(bi)75%），年均投(tou)資(zi)(zi)(zi)達(da)2,362億元（其(qi)中(zhong)內(nei)資(zi)(zi)(zi)晶(jing)圓(yuan)廠投(tou)資(zi)(zi)(zi)達(da)1,768億元）

無論是從國家戰(zhan)略、下游需求還是產業(ye)遷移趨(qu)(qu)勢(shi)來看，集成電路產業(ye)向中(zhong)國大陸轉移已是大勢(shi)所(suo)趨(qu)(qu)。

集(ji)成電路(lu)行業環保投(tou)資(zi)一般(ban)占總投(tou)資(zi)的(de)(de)比(bi)例不超過5%。由于(yu)集(ji)成電路(lu)是(shi)資(zi)金密集(ji)型(xing)行業，生產線本身(shen)投(tou)資(zi)巨大，其在環保方面(mian)的(de)(de)投(tou)入往(wang)往(wang)達到上千萬甚(shen)至上億(yi)元人(ren)民幣(bi)。

2、垃圾(ji)焚燒發電(dian)行業

近年來，我(wo)(wo)國垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)無害(hai)化(hua)處理(li)(li)結構持(chi)續(xu)調整，逐(zhu)步由(you)填埋(mai)處理(li)(li)為主向焚(fen)燒(shao)為主轉(zhuan)變。垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)處理(li)(li)行業發(fa)展(zhan)初期，我(wo)(wo)國尚無成熟(shu)的(de)垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)焚(fen)燒(shao)發(fa)電技術，衛生填埋(mai)憑借(jie)投(tou)資運營成本(ben)低得(de)到了快(kuai)速(su)(su)發(fa)展(zhan)。2006年后(hou)，垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)焚(fen)燒(shao)發(fa)電補貼以及稅收優惠(hui)等政(zheng)策相繼(ji)出臺，垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)焚(fen)燒(shao)行業快(kuai)速(su)(su)發(fa)展(zhan)，2008-2017年我(wo)(wo)國生活(huo)垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)焚(fen)燒(shao)無害(hai)化(hua)處理(li)(li)能(neng)力從5.16萬噸/日增(zeng)(zeng)至(zhi)29.81萬噸/日，復(fu)合增(zeng)(zeng)速(su)(su)達21.52%。同時隨著我(wo)(wo)國垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)清運量的(de)持(chi)續(xu)快(kuai)速(su)(su)增(zeng)(zeng)長，我(wo)(wo)國垃(la)(la)圾(ji)(ji)(ji)焚(fen)燒(shao)發(fa)電的(de)處理(li)(li)能(neng)力尚存巨大(da)缺(que)口(kou)，存在較大(da)的(de)市場空間。

圖(tu)表4：生活垃圾焚燒無害化處(chu)理(li)能(neng)力（單位：萬噸/日）

數(shu)據來源(yuan)：國家(jia)統計局、韋伯咨詢整理

根據《“十(shi)三(san)五”全國城(cheng)鎮生活(huo)垃(la)圾無害化(hua)處(chu)理設(she)施建(jian)設(she)規劃》（發改環資〔2016〕2851號），到2020年底全國城(cheng)鎮生活(huo)垃(la)圾焚燒處(chu)理設(she)施能力占無害化(hua)處(chu)理總能力50%以(yi)上(shang)，其(qi)中(zhong)東部地區占60%以(yi)上(shang)。“十(shi)三(san)五”期間(jian)，全國需要建(jian)設(she)46萬(wan)噸(dun)/日的新(xin)項目，按照目垃(la)圾焚燒項目建(jian)設(she)投資成(cheng)本在40-50萬(wan)元/（噸(dun)/日），“十(shi)三(san)五”期間(jian)垃(la)圾焚燒建(jian)設(she)市(shi)場規模約2,085億元

焚(fen)燒設施的煙氣凈化系統建設成(cheng)本(ben)是總投資(zi)的30-50%。

三、部分下(xia)游工(gong)藝發展，技術演進產生行業需求(qiu)

泛半(ban)導體行業是(shi)(shi)一個(ge)技(ji)術和資金雙輪驅動的(de)高端(duan)制造業，受(shou)到摩(mo)爾定律的(de)影(ying)響，行業整體呈現產品性能快速(su)發展的(de)態勢，背(bei)后(hou)則是(shi)(shi)生產工藝的(de)發展和相關技(ji)術的(de)進步。

光電顯(xian)示(shi)行業，傳(chuan)統LCD顯(xian)示(shi)屏幕市(shi)場增(zeng)長趨于穩定，采取新型顯(xian)示(shi)技(ji)術(shu)的(de)OLED顯(xian)示(shi)屏幕市(shi)場預計將(jiang)迎來爆發式增(zeng)長。OLED相比LCD，具有厚度(du)小(xiao)、可視角度(du)大、節(jie)能(neng)省(sheng)電、響(xiang)應(ying)時間短(duan)、低溫特(te)性(xing)好等特(te)點，此外OLED顯(xian)示(shi)屏幕能(neng)夠在不同材質的(de)基板上制造(zao)，制成(cheng)柔性(xing)屏產品(pin)能(neng)夠在可折疊手(shou)機、可穿戴(dai)產品(pin)等領域取得廣泛(fan)應(ying)用(yong)，有望成(cheng)為繼LCD之后的(de)第三代主流顯(xian)示(shi)技(ji)術(shu)。

OLED顯示技術(shu)自發光(guang)的(de)特點，決定(ding)了其相比LCD，需要(yao)在(zai)背(bei)板段(duan)工藝(yi)進行更多輪次的(de)成膜(mo)、光(guang)刻膠涂布、曝光(guang)、刻蝕、剝(bo)離(li)工序(xu)，以(yi)疊(die)加(jia)不(bu)同圖形不(bu)同材質(zhi)的(de)膜(mo)層(ceng)以(yi)形成驅(qu)動(dong)電路，為發光(guang)器件提(ti)供(gong)點亮信號以(yi)及穩定(ding)的(de)電源輸入(ru)。背(bei)板段(duan)工藝(yi)為光(guang)電顯示行業(ye)的(de)主要(yao)產污來(lai)源，工藝(yi)循(xun)環次數的(de)增(zeng)加(jia)將(jiang)顯著提(ti)高工藝(yi)廢氣的(de)排放量，相應的(de)增(zeng)加(jia)工藝(yi)廢氣治理市場需求。

集成電路行(xing)業，受(shou)摩爾定律深度影響，產(chan)品性能(neng)和制造工藝快速發展，制程從(cong)90納(na)(na)(na)(na)米(mi)、65納(na)(na)(na)(na)米(mi)、45納(na)(na)(na)(na)米(mi)、32納(na)(na)(na)(na)米(mi)、28納(na)(na)(na)(na)米(mi)、22納(na)(na)(na)(na)米(mi)、14納(na)(na)(na)(na)米(mi)，一直發展到現在的10納(na)(na)(na)(na)米(mi)、7納(na)(na)(na)(na)米(mi)、5納(na)(na)(na)(na)米(mi)，行(xing)業具備(bei)制造工序多、產(chan)品種類多、技術換(huan)代(dai)快、投資大等(deng)特(te)點。

薄膜(mo)沉積、光刻和(he)刻蝕(shi)是集(ji)(ji)成電路(lu)三(san)大核心工(gong)(gong)藝(yi)，反復循環多次。在摩爾定律(lv)的推(tui)動下，元器件集(ji)(ji)成度的大幅提高(gao)要求集(ji)(ji)成電路(lu)線寬不斷縮小，直接(jie)導致集(ji)(ji)成電路(lu)制造工(gong)(gong)序(xu)愈(yu)為(wei)復雜。根據SEMI統計，20納米(mi)工(gong)(gong)藝(yi)所需(xu)工(gong)(gong)序(xu)約(yue)為(wei)1,000道(dao)，而(er)10納米(mi)和(he)7納米(mi)工(gong)(gong)藝(yi)所需(xu)工(gong)(gong)序(xu)已(yi)超過(guo)1,400道(dao)。8工(gong)(gong)序(xu)步驟的大幅增加(jia)意味著污(wu)染物(wu)排放(fang)的增加(jia)。

此外(wai)，隨(sui)著(zhu)制(zhi)程(cheng)納米數(shu)的(de)(de)逐漸降低，直至小(xiao)于光刻(ke)(ke)(ke)(ke)機的(de)(de)波長時，光刻(ke)(ke)(ke)(ke)制(zhi)程(cheng)會(hui)受到駐波效應的(de)(de)限制(zhi)，需要采用多(duo)重模(mo)板工(gong)藝(yi)，重復多(duo)次(ci)(ci)薄膜(mo)沉積和刻(ke)(ke)(ke)(ke)蝕(shi)工(gong)序(xu)以實現更(geng)小(xiao)的(de)(de)線寬，使得薄膜(mo)沉積和刻(ke)(ke)(ke)(ke)蝕(shi)次(ci)(ci)數(shu)顯著(zhu)增加。根據(ju)SEMI統計，20納米工(gong)藝(yi)需要的(de)(de)刻(ke)(ke)(ke)(ke)蝕(shi)步(bu)驟(zou)(zou)約(yue)為50次(ci)(ci)，而10納米和7納米工(gong)藝(yi)所需刻(ke)(ke)(ke)(ke)蝕(shi)步(bu)驟(zou)(zou)則(ze)超過100次(ci)(ci)。9工(gong)藝(yi)復雜程(cheng)度的(de)(de)增加相應地也增加了(le)污染物的(de)(de)排放。

綜上，下游(you)泛半(ban)導體行業的(de)工(gong)藝、技(ji)術不斷發展(zhan)對(dui)環(huan)境(jing)保護(hu)專用設備制造業提出了更高的(de)要求，市(shi)場需求快(kuai)速(su)增加，帶來廣(guang)闊(kuo)的(de)市(shi)場空間。